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產(chǎn)品等級(jí)：電子級(jí)5N 超純6.5N

砷烷 AsH₃

純度：99.99995%
別名：Arsenic hydride
危險(xiǎn)化學(xué)品等級(jí)：2.3
包裝：44L/47L DOT鋼瓶
CAS NO:7784-42-1
標(biāo)識(shí)：有毒
充裝量：22.7KG
UN NO: UN?2188
運(yùn)輸狀態(tài)：液態(tài)氣體
氣體壓力：
閥門(mén)：CGA350/Diss632
接口螺紋：左旋反絲

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產(chǎn)品介紹

砷化氫是在電子氣體中用途十分廣泛，技術(shù)難度非常大的烷類(lèi)氣體，是光電子，微電子重要的原材料，也是有機(jī)合成、標(biāo)準(zhǔn)氣制備的重要化學(xué)物質(zhì)，是N型摻雜極為重要的摻雜劑，砷烷還原性強(qiáng)，遇光能迅速分解。主要應(yīng)用于擴(kuò)散、外延生長(zhǎng)、離子注入、化合物半導(dǎo)體用氣體、化學(xué)氣相淀積。

注意事項(xiàng)：

理化特性

化學(xué)式		AsH₃	危險(xiǎn)貨物編號(hào)	23006
理化性質(zhì)	外觀與性狀	無(wú)色辛辣有毒氣體。	水溶性	不溶于水
	熔點(diǎn)（℃）	-133℃	相對(duì)密度(空氣=1)	2.69
	沸點(diǎn)（℃）	-62.5℃	臨界溫度（℃）	-99.9℃
毒性及健康危害	侵入途徑	吸入。
	健康危害	曝露在濃度250ppm以下數(shù)分鐘就能致命，癥狀包括白血病、貧血、血尿、尿少癥、黃疸癥、腎臟衰竭、破壞神經(jīng)系統(tǒng)、毒性抽搐及死亡等。
	急救方法	施救前先做好自身的防護(hù)措施以確保自己的安全。如穿戴適當(dāng)防護(hù)裝備，人員采"支持互助小組"方式進(jìn)行救援。將患者移至新鮮空氣處，立即請(qǐng)人幫忙打電話(huà)求救若意識(shí)不清將患者置于復(fù)蘇姿勢(shì)，不可喂食，檢查呼吸維持呼吸道暢通，若呼吸停止由受過(guò)訓(xùn)練之人員施以人工呼吸，若心跳停止立即施以心肺復(fù)蘇術(shù)或給予氧氣，替患者保溫，令其舒適，立即送醫(yī)并告知醫(yī)療人員曾接觸此物質(zhì)。

技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品規(guī)格	99.999%	99.99995%
氬氣（Ar）	＜50ppb	/
氮?dú)猓∟2）	＜100ppb	＜2ppm
氧氣（O2）	＜40ppb	＜1ppm
二氧化碳（CO2）	＜40ppb	＜0.5ppm
一氧化碳（CO）	＜10ppb	＜1ppm
甲烷（CH3）	＜10ppb	/
乙烷（C2H6）	＜25ppb	/
丙烷(C3H8)	＜25ppb	/
總烴THC	/	＜0.5ppm
磷烷（PH3）	＜50ppb	＜1ppm
水份（H2O）	＜100ppb	＜2ppm
鍺烷（GeH4）	＜50ppb	/

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