在鎢的氟化物中，六氟化鎢是唯一穩定并被工業化生產的品種。它的主要用途是在電子工業中作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料，特別是用它制成的WSi2可用作大規模集成電路(LSI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復合涂層，可用于X-射線的發射電極。此外，六氟化鎢在電子行業中還主要用作半導體電極和導電漿糊等的原材料。 六氟化鎢還有許多非電子方面的應用，例如通過CVD技術使鎢在鋼的表面上生成堅硬的碳化鎢可用來改善鋼的表面性能。它還可用于制造某些鎢制部件，如鎢管和坩堝等。此外，WF₆還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等。 

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