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      產(chǎn)品中心

      PRODUCT CENTER

      產(chǎn)品等級(jí): 電子級(jí)6N
      六氟化鎢 WF6
      • 純度:99.9999%
      • 別名:Tungstenfluoride
      • 危險(xiǎn)化學(xué)品等級(jí):2.3
      • 包裝:20L/40L鋼瓶
      • CAS NO: 7783-82-6
      • 標(biāo)識(shí):有毒
      • 充裝量:50KG
      • UN NO: UN2196
      • 運(yùn)輸狀態(tài):液態(tài)氣體
      • 氣體壓力:0.09Mpa
      • 閥門(mén)型號(hào):CGA638
      • 接口螺紋:左旋 反絲
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      產(chǎn)品介紹

         在鎢的氟化物中,六氟化鎢是唯一穩(wěn)定并被工業(yè)化生產(chǎn)的品種。它的主要用途是在電子工業(yè)中作為金屬鎢化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝的原材料,特別是用它制成的WSi2可用作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線(xiàn)材料。通過(guò)混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復(fù)合涂層,可用于X-射線(xiàn)的發(fā)射電極。此外,六氟化鎢在電子行業(yè)中還主要用作半導(dǎo)體電極和導(dǎo)電漿糊等的原材料。 六氟化鎢還有許多非電子方面的應(yīng)用,例如通過(guò)CVD技術(shù)使鎢在鋼的表面上生成堅(jiān)硬的碳化鎢可用來(lái)改善鋼的表面性能。它還可用于制造某些鎢制部件,如鎢管和坩堝等。此外,WF6還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學(xué)材料的原料等。 


      注意事項(xiàng):

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      理化特性
      化學(xué)式WF6危險(xiǎn)貨物編號(hào)23025
      理化性質(zhì)外觀(guān)與性狀無(wú)色無(wú)臭液體。溶解性水解(0℃ 1atm)
      熔點(diǎn)(℃)2.3℃  液態(tài)密度13.29kg/m3(1atm21℃)
      沸點(diǎn)(℃)17.2℃臨界溫度(℃)169.85℃
      毒性及健康危害侵入途徑吸入。
      健康危害遇潮濕、空氣或水分解,散發(fā)也劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。該品對(duì)眼睛、皮膚和粘膜能引起非常嚴(yán)重的燒傷。
      急救方法吸入時(shí),迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處,保持呼吸道通暢,如呼吸停止,立即進(jìn)行人工呼吸,就醫(yī);皮膚與液體接觸脫去污染的衣物,用流動(dòng)清水清洗。在灼傷出涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水,就醫(yī)眼睛接觸液體時(shí),先用大量水沖洗數(shù)十分鐘,然后就醫(yī)。

       

      技術(shù)指標(biāo)

       

      產(chǎn)品規(guī)格

      99.9999%

      六氟化硫 (SF6)

      <0.5

      氧氣(O2)+ 氬氣(Ar)

      <0.5

      一氧化碳(CO)

      <0.5

      二氧化碳(CO2)

      <0.5

      四氟化碳(CF4)

      <0.5

      三氟化氮 (NF3)

      <0.5

      四氟化硅(SiF4)

      <0.5

      氮?dú)猓∟2)<1

      氫氟酸(HF)

      <5

       

       

       

       

      掃一掃關(guān)注公眾號(hào)

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