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      產品等級：化學級3N  4N 電子級4.5N
      
          
      
            
            
          
      
        
      
        
      
          
      三氟化氮 NF3
      
          
      
            
        
                            
      • 純度：99.9%-99.995%
        • 
                            
      • 別名:Nitrogen trifluoride
        • 
                            
      • 危險化學品等級：2.3
        • 
                            
      • 包裝：43L /47L DOT鋼瓶
        • 
                            
      • CAS NO: 7783-54-2
        • 
                            
      • 標識：有毒
        • 
                            
      • 充裝量：20KG
        • 
                            
      • UN NO: UN2451
        • 
                            
      • 運輸狀態：壓縮氣體
        • 
                            
      • 氣體壓力：10mpa
        • 
                            
      • 閥門型號：CGA590/640
        • 
                            
      • 接口螺紋：左旋 反絲
        • 
                          
      
          
      
          
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            聯系我們：
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      產品介紹
      
      
           三氟化氮是用作氟化氫-氟化氣高能化學激光器的氟源，在h2-O2 與F2之間反應能的有效部分(約25%)可以以激光輻射釋放出，所HF-OF激光器是化學激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。

      注意事項：
      image.png
      
    
      
        
      
      
      理化特性
      
      
      化學式NF3危險貨物編號23016
      理化性質外觀與性狀無色刺激氣體飽和蒸汽壓（kpa）＞101.35（20°）
      熔點（℃）-208.5℃  相對密度(空氣=1)2.46
      沸點（℃）-129℃臨界溫度（℃）-39.3℃
      毒性及健康危害侵入途徑吸入。
      健康危害吸入該物質會引起呼吸道不適，本產品低毒，但是它能強烈刺激眼睛和皮膚黏膜，腐蝕組織
      急救方法吸入時，迅速脫離現場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，不可進行口對口人工呼吸，就醫；立刻脫掉污染衣服，用大量水沖洗，并給予醫療護理；眼睛接觸時，用水徹底沖洗至少15分鐘，就醫
       
       
      
        
      
      
      技術指標
      
      
       
      產品規格
      99.9%
      		99.99%
      		99.995%
      四氟化碳（CF4）
      ≤500ppm
      ≤40ppm
      ≤20ppm
      氮氣（N2）
      ≤50ppm
      ≤5ppm
      ≤5ppm
      氧+氬（O2+Ar）
      ≤50ppm
      ≤5ppm
      ≤3ppm
      二氧化碳（CO2）
      ≤10ppm
      ≤5ppm
      ≤1ppm
      水（H2O）
      ≤1ppm
      ≤1ppm
      ≤1ppm
      酸份（以HF計）
      ≤1ppm
      ≤1ppm
      ≤1ppm
      六氟化硫（SF6）
      ≤25ppm
      ≤2ppm
      ≤1ppm
      氧化亞氮（N2O）
      ≤10ppm
      ≤5ppm
      ≤1ppm
      一氧化碳（CO）
      ≤10ppm
      ≤5ppm
      ≤0.5ppm
       
       
       

       
       
      
    
      
        
  
      

      
 



      

  
       

    
      掃一掃關注公眾號
      

  
      


      


      

  
      

    
      

    
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