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      產品等級：工業級4N  電子級6N   (R14)
      
          
      
            
            
          
      
        
      
        
      
          
      四氟化碳 CF4
      
          
      
            
        
                            
      • 純度：99.99%-99.9999%
        • 
                            
      • 別名Tetralfluoromethane
        • 
                            
      • 危險化學品等級：2.2
        • 
                            
      • 包裝：40L /47L DOT鋼瓶
        • 
                            
      • CAS NO: 75-73-0
        • 
                            
      • 標識：不燃
        • 
                            
      • 充裝量：30KG
        • 
                            
      • UN NO: UN1982
        • 
                            
      • 運輸狀態：液態氣體
        • 
                            
      • 氣體壓力：12mpa
        • 
                            
      • 閥門型號：CGA580/590
        • 
                            
      • 接口螺紋：右旋 正絲
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      產品介紹
      
      
      四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體。空氣中不燃燒，是比較穩定的無毒物質。但是在高溫時，或與可燃氣體一同燃燒時，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa時，水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。。四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產，激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態，印刷電路生產中

      注意事項： 
      四氟化碳3D圖形   點擊查閱
      image.png
      
    
      
        
      
      
      理化特性
      
      
      化學式CF4危險貨物編號22033
      理化性質外觀與性狀無色無臭氣體。飽和蒸氣壓（kpa）13.33kap(15.07)
      熔點（℃）-186.8℃  相對密度(空氣=1)3.038
      沸點（℃）-128℃臨界溫度（℃）-45.6℃
      毒性及健康危害侵入途徑吸入。
      健康危害吸入高濃度四氟化碳出現呼吸困難、嘔吐等窒息癥狀，接觸液體會造成冷燒傷。
      急救方法吸入時，迅速脫離現場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，保證溫暖，如出現凍瘡時，就醫；皮膚與液體接觸發生凍傷時，用大量水沖洗，不要脫掉衣服，并給予醫療護理；眼睛接觸液體時，先用大量水沖洗數分鐘，然后就醫。
       
       
      
        
      
      
      技術指標
      
      
       
      產品規格
      99.99%
      		99.999%
      		99.9999%
      氮氣（N2）
      ＜40ppm
      ＜5ppm
      		/
      氧氣（O2）
      ＜20ppm
      ＜2ppm
      ＜100ppb
      氬氣（Ar）
      		 /
      /
      ＜20ppb
      氫氣（H2）
      /
      /
      ＜100ppb
      總烴THC
      ＜10ppm
      ＜1ppm
      ＜50ppb
      一氧化碳（CO）
      ＜10ppm
      ＜1ppm
      ＜50ppb
      二氧化碳（CO2）
      ＜10ppm
      ＜1ppm
      ＜100ppb
      水（H2O）
      ＜10ppm
      ＜2ppm
      ＜200ppb
       
       
       

      
    
      
        
  
      

      
 



      

  
       

    
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